元件阵列、机电转换装置及其制造方法

摘要

一种元件阵列，包括多个具有第一电极和第二电极的元件，在第一电极和第二电极之间具有空隙；通过凹槽对于每个元件分离第一电极，绝缘的连接衬底与第一电极接合，以及从对于每个元件分离的各个第一电极中的每一个第一电极穿过连接衬底到与第一电极相对的一侧地形成布线。