用于划片机的工件冲洗装置及划片机

摘要

本发明涉及半导体切割技术领域，提供了一种用于划片机的工件冲洗装置及划片机，该工件冲洗装置，包括：至少一个水帘管组件；水帘管组件包括：水帘管、以及位于水帘管两端的第一进水接头和第二进水接头；水帘管包括管套和嵌套在管套内的通水管组件。本发明通过在水帘管的两端分别设置进水接头，可以缩短水流行程，从而减小水帘管长度方向上的压力差；同时通过设置长度不同的流道与不同喷水孔密封连通，从而为不同区域的喷水孔提供压力均衡的独立封闭流道，进而确保各喷水孔的出水压力均衡，提升冲洗效果的同时还可以有效保护工件不受损坏，并且该冲洗装置的整体结构更为紧凑，占用空间小，有利于划片机上的零部件合理布局。