一种太赫兹扫描近场光学系统针尖散射信号仿真分析方法

摘要

本发明公开了一种太赫兹扫描近场光学系统针尖散射信号仿真分析方法，该方法包括：步骤s1)基于镜像偶极子理论，建立针尖散射信号的三维模型，并简化得到二维针尖与待测样品的纵向剖面模型；步骤s2)通过设置二维针尖的纵向剖面模型与待测样品的不同仿真环境，分别进行步骤s3)和步骤s4)；步骤s3)通过改变针尖与样品的间距模拟针尖周期性振动，得到不同间距的近场电场数值；步骤s4)对不同间距的近场电场数值进行傅里叶分解，得到各阶散射信号的电场分布。本发明极大的减小了仿真模型的计算量，通过综合不同针尖与待测样品间距的各点电场数值，直观得到各阶散射信号的空间分布，为太赫兹散射式近场扫描光学成像仪器设计提供参考。