公开/公告号CN113936727A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-14
原文格式PDF
申请/专利权人 长江存储科技有限责任公司;
申请/专利号CN202111139073.5
发明设计人 杨盛玮;
申请日2021-09-27
分类号G11C16/10(2006.01);G11C16/24(2006.01);G11C16/26(2006.01);
代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司 11240;
代理人霍文娟
地址 430074 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
入库时间 2023-06-19 15:49:21
机译: 气缸装置,压机装置,压脚装置,气缸装置的操作方法,压脚方法及压机方法
机译: 半导体装置检查方法,半导体装置制造方法以及检查装置