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公开/公告号CN114657543A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-06-24
原文格式PDF
申请/专利权人 盛吉盛半导体科技(无锡)有限公司;
申请/专利号CN202210283946.8
发明设计人 禅明;王金;臧宇;黄善发;吴金马;李靖;
申请日2022-03-21
分类号C23C16/54;
代理机构北京维正专利代理有限公司;
代理人韩冰
地址 214001 江苏省无锡市梁溪区金山四支路11-4
入库时间 2023-06-19 15:46:15
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-06-24
公开
发明专利申请公布
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