公开/公告号CN114661020A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-06-24
原文格式PDF
申请/专利号CN202011530225.X
申请日2020-12-22
分类号G05B23/02;
代理机构北京润平知识产权代理有限公司;
代理人肖冰滨;王晓晓
地址 100728 北京市朝阳区朝阳门北大街22号
入库时间 2023-06-19 15:46:15
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-06-24
公开
发明专利申请公布
机译: 气缸装置,压机装置,压脚装置,气缸装置的操作方法,压脚方法及压机方法
机译: 半导体装置检查方法,半导体装置制造方法以及检查装置
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