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公开/公告号CN114582744A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-06-03
原文格式PDF
申请/专利权人 广东省科学院半导体研究所;
申请/专利号CN202210154507.7
发明设计人 凌云志;马建国;李朋飞;胡川;陈志涛;
申请日2022-02-18
分类号H01L21/60;
代理机构广州三环专利商标代理有限公司;
代理人王伟
地址 510000 广东省广州市天河区长兴路363号
入库时间 2023-06-19 15:32:14
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-06-03
公开
发明专利申请公布
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