公开/公告号CN114538153A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-05-27
原文格式PDF
申请/专利权人 中国化学工程第十六建设有限公司;
申请/专利号CN202011330095.5
发明设计人 冯强;
申请日2020-11-24
分类号B65H18/10;B65H37/02;B65H75/10;B65H75/18;E04B1/64;E04B2/02;E04G21/00;
代理机构宜昌市三峡专利事务所;
代理人成钢
地址 443100 湖北省宜昌市土城路4号
入库时间 2023-06-19 15:29:10
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-05-27
公开
发明专利申请公布
机译: 成膜设备及成膜方法
机译: 氮化硼膜的生长设备和方法