具有颗粒物实时监测功能的晶圆传送及处理系统及方法

摘要

本申请公开了一种具有颗粒物实时监测功能的晶圆传送及处理系统及方法。该系统包括：工艺腔室，用于处理晶圆；设备前端模块，与所述工艺腔室相邻设置，用于将晶圆传送至所述工艺腔室内；若干传感器，设置于所述设备前端模块和所述工艺腔室内，用于检测颗粒物浓度；主机，用于接收并分析所述传感器所发送的颗粒物浓度检测数据。本公开实施例提供的具有颗粒物实时监测功能的晶圆传送及处理系统，能够实现对晶圆传送及处理环境中的各区域颗粒物浓度的实时监测,不需要消耗晶圆，能迅速确定颗粒物产生的位置，有助于对晶圆传送及处理环境中的颗粒物浓度进行管控，提高了工作效率。