公开/公告号CN114300432A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-08
原文格式PDF
申请/专利权人 深圳成光兴光电技术股份有限公司;
申请/专利号CN202210072282.0
申请日2022-01-21
分类号H01L23/488(20060101);H01L23/49(20060101);H01L21/607(20060101);
代理机构44804 广东普润知识产权代理有限公司;
代理人寇闯
地址 518000 广东省深圳市龙华区福城街道章阁社区章阁老村东区168号2栋1-5层
入库时间 2023-06-19 14:48:21
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-08
公开
发明专利申请公布
机译: 2D数据分析仪,2D数据分析方法和2D数据分析程序
机译: 3D调查装置,3D调查方法和3D调查程序