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一种电声调谐等离激元激光器及其制备方法

摘要

本公开提供一种电声调谐等离激元激光器及其制备方法,电声调谐等离激元激光器包括压电晶体、金属光栅、纳米线以及金属电极。压电晶体压电晶体的上端面有一压电形变面;金属光栅设于压电形变面,金属光栅包括多条间隔设置的金属条纹;纳米线设于金属光栅的上端面上,纳米线的延伸方向与金属条纹的延伸方向呈相互垂直设置,与金属光栅上端面紧密贴合;金属电极设于压电晶体的侧壁面上。在本公开提供的技术方案中,激光器体积小,调谐频率高,具有多种调谐方式,发光端面小,腔长远小于传统分布反馈(DFB)激光器,连续调谐频率可达40MHz等优点,尤其实现了声光电的一体化耦合,具有深厚的研究价值和广阔的应用前景。

著录项

  • 公开/公告号CN114284864A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-04-05

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;

    申请/专利号CN202111618575.6

  • 申请日2021-12-27

  • 分类号H01S5/10(20210101);H01S5/06(20060101);H01S5/30(20060101);B82Y20/00(20110101);B82Y40/00(20110101);

  • 代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人李世阳

  • 地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号

  • 入库时间 2023-06-19 14:45:18

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-04-05

    公开

    发明专利申请公布

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