公开/公告号CN114284864A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-05
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN202111618575.6
申请日2021-12-27
分类号H01S5/10(20210101);H01S5/06(20060101);H01S5/30(20060101);B82Y20/00(20110101);B82Y40/00(20110101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人李世阳
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2023-06-19 14:45:18
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-05
公开
发明专利申请公布