一种基于Ru掺杂Co3O4分等级结构空心花球敏感材料的丙酮传感器及其制备方法

摘要

一种基于Ru掺杂Co3O4分等级结构空心花球敏感材料的丙酮传感器及其制备方法，属于半导体金属氧化物气体传感器技术领域。由外表面带有两条平行、环状且彼此分立的金电极的Al2O3陶瓷管衬底、涂覆在陶瓷管外表面和金电极上的敏感材料、置于陶瓷管内的镍铬加热线圈组成。本发明利用水热法合成出Ru掺杂Co3O4分等级结构空心花球敏感材料，实现了气敏特性的较大飞跃。该传感器对丙酮表现出卓越的选择性、高灵敏度(S＝18.8～10ppm)和低的检测下限(S＝1.5～50ppb)，且有较好的选择性和抗湿性。本发明器件工艺简单，体积小，适于大批量生产，在检测丙酮污染物方面有广阔的应用前景。