公开/公告号CN114266151A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-01
原文格式PDF
申请/专利权人 上海马勒热系统有限公司;
申请/专利号CN202111556983.3
申请日2021-12-18
分类号G06F30/20(20200101);G06F119/08(20200101);
代理机构31304 上海知义律师事务所;
代理人刘峰
地址 201206 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区陇桥路355号
入库时间 2023-06-19 14:43:46
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-01
公开
发明专利申请公布
机译: 气缸装置,压机装置,压脚装置,气缸装置的操作方法,压脚方法及压机方法
机译: 半导体装置检查方法,半导体装置制造方法以及检查装置