公开/公告号CN114226139A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-25
原文格式PDF
申请/专利权人 高敏;
申请/专利号CN202210030866.1
申请日2022-01-12
分类号B05B16/20(20180101);B05B13/06(20060101);B05B13/02(20060101);B05B14/40(20180101);B05B15/40(20180101);
代理机构44313 深圳力拓知识产权代理有限公司;
代理人张小雪
地址 471000 河南省洛阳市孟津区吉利文化路北段洛阳石化工程设计有限公司
入库时间 2023-06-19 14:40:39
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-25
公开
发明专利申请公布
机译: 成膜设备及成膜方法