インクジェットによる配向膜塼布石井表記の配向膜形成装置と乾燥装置総合的な成膜のアドバイスも提供

摘要

石井表記は，石井表記製作所として63年にネームrnプレートの製造販売を開始，73年には石井表記としrnて株式会社となった。その後，78年にネームプレーrnト製造機器，81年にプリント基板製造装置，89年rnには半導体製造装置の製造販売を開始。また，02rn年に太陽電池ウェーハ，04年には太陽電池製造装rn置の製造販売も開始するなど，多岐にわたって事業rnを拡大し，成長を遂げてきた。このような中，95rn年には，同社技術の中枢となる企画開発本部が発足rnし，LCD，太陽光発電，半導体関連分野を中心とrnした開発に注力している。企画開発本部では，独自rnのインクジェット方式により高品質，長期安定性のrnある配向膜形成装置を生み出すことに成功。現在でrnは，第5.5世代から第8.5世代対応製品までをライrnンナップし，さらに次世代の開発にも着手している。