公开/公告号CN114242850A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-25
原文格式PDF
申请/专利权人 广东省科学院半导体研究所;
申请/专利号CN202111490188.9
申请日2021-12-08
分类号H01L33/00(20100101);H01L33/58(20100101);B41J3/407(20060101);
代理机构11463 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙);
代理人戴尧罡
地址 510651 广东省广州市天河区长兴路363号
入库时间 2023-06-19 14:37:32
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-25
公开
发明专利申请公布