一种双面研磨机上研磨盘和下研磨盘的同步修整方法

摘要

本发明提供一种双面研磨机上研磨盘和下研磨盘的同步修整方法，包括以下步骤：去除下研磨盘内圈处的内齿圈和其外圈处的外齿圈；保持上研磨盘为浮动状态，将上研磨盘和下研磨盘相交设置，令上研磨盘和下研磨盘均独立转动并相互研磨修整对方研磨面上的中凸区域。通过将上研磨盘和下研磨盘相交设置并相互研磨修整对方研磨面上的中凸区域，修整效率高，并且修整后研磨面平面度的精度高。