公开/公告号CN114216285A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-22
原文格式PDF
申请/专利号CN202111437429.3
申请日2021-11-29
分类号F25B13/00(20060101);F25B49/02(20060101);B60H1/00(20060101);
代理机构11482 北京瀚仁知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人魏赛楠;宋宝库
地址 266101 山东省青岛市崂山区海尔路1号海尔工业园
入库时间 2023-06-19 14:36:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-22
公开
发明专利申请公布
机译: 温度测量装置的校准方法,光刻设备和物品的制造方法