公开/公告号CN114220785A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-22
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申请/专利权人 华天科技(南京)有限公司;
申请/专利号CN202111547331.3
发明设计人 汪民;
申请日2021-12-16
分类号H01L23/498(20060101);H01L23/367(20060101);H01L21/54(20060101);H01L21/50(20060101);H01L21/48(20060101);
代理机构61200 西安通大专利代理有限责任公司;
代理人马贵香
地址 211805 江苏省南京市浦口区桥林街道丁香路16号
入库时间 2023-06-19 14:36:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-22
公开
发明专利申请公布