公开/公告号CN114198320A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-18
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社荏原制作所;
申请/专利号CN202111548805.6
发明设计人 西村和马;
申请日2018-12-26
分类号F04D15/00(20060101);
代理机构11256 北京市金杜律师事务所;
代理人王娟娟
地址 日本东京都
入库时间 2023-06-19 14:34:26
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-18
公开
发明专利申请公布
机译: 半导体装置检查方法,半导体装置制造方法以及检查装置
机译: 半导体装置,电源装置,放大器及半导体装置的制造方法