用于等离子体加工的三阶段脉冲系统和方法

摘要

一种等离子体加工方法包括执行反应性物质控制阶段、执行离子/自由基控制阶段以及执行副产物控制阶段。反应性物质控制阶段包括以脉冲方式向加工室施加源功率以在等离子体中生成离子和自由基。在反应性物质控制阶段之后执行离子/自由基控制阶段。离子/自由基控制阶段包括降低到加工室的源功率并且以脉冲方式向加工室中的衬底施加偏置功率。在离子/自由基控制阶段之后执行副产物控制阶段。副产物控制阶段包括相对于反应性物质控制阶段降低到加工室的源功率并且相对于离子/自由基控制阶段降低到衬底的偏置功率。