基于双透镜阵列的凝视型多光谱图像传感器及其制作方法

摘要

本发明涉及一种基于双透镜阵列的凝视型多光谱图像传感器及其制作方法，包括：在背照式图像传感器的表面制作多光谱滤光器阵列；在光学玻璃片的下表面制作下微透镜阵列，在背照式图像传感器上旋涂光敏型键合胶，并进行图形化处理形成与下微透镜阵列相对应的图案；将光学玻璃片和背照式图像传感器键合在一起；在光学玻璃片的上表面制作上微透镜阵列；制作金属电极。本发明中，图像传感器的进光方式采用了背照式，具有灵敏度高、膜系可设计性高、工艺可控性高的特点。滤光器基于F‑P标准具原理，结构简单，相对于传统的多光谱成像系统，省去了笨重的色散或干涉分光系统。采用双透镜结构能明显提高图像传感器的填充因子，提高占空比，降低谱段串扰。