一种基于激光脉冲控制的在透明硬脆材料中加工小孔的方法

摘要

本发明提供了一种基于激光脉冲控制的在透明硬脆材料中加工小孔的方法，包括如下步骤：设沿硬脆透明材料厚度方向自下而上的加工层数为P，选择第1到第Q层采用振镜扫描模式，沿材料厚度方向自下而上进行分层加工小孔，激光扫描完一层，激光焦点向上步进一层，第Q层加工完成后，冷却硬脆透明材料；其中，P‑5≤Q≤P‑1；将第Q+1层到第P层采用激光矢量打点模式进行小孔加工。本发明可以有效的减小高重频纳秒激光的热累积作用，进而减小小孔边缘的崩边，获得边缘质量良好的小孔。