一种瞬时两步相移横向剪切干涉测量系统和方法

摘要

本发明涉及一种瞬时两步相移横向剪切干涉测量系统和方法。以克服现有技术存在的光路复杂，调试难度大，成本高、结构复杂、稳定性差且极容易引入额外误差的问题。本发明由激光器出射光源，通过显微物镜和透镜经过反射镜反射通过分束棱镜标准镜射到达被测元件，经起偏器后垂直入射第一晶体偏振分束器，两束光波经过第一λ/4波片，两束圆偏振光再次分别在竖直方向上分束成为四束线偏振光，实现四个波面的两两剪切，通过安装在CCD相机靶面前的位相掩膜版，位相掩膜版上每个像素级的微偏振单元都与CCD相机靶面上的像素点一一匹配对应，且每两像素级的微偏振单元拼接组合成一个超级像元，相邻两个微偏振单元的透光轴分别沿x轴方向和y轴方向。