磁隔离芯片及电容隔离芯片的隔离结构、制作方法

摘要

本发明提供了一种磁隔离芯片及电容隔离芯片的隔离结构、制作方法，通过将该隔离结构中部分应力较大的整面膜层转换成多个独立的膜层单元，穿插式的分布在相邻的膜层上，进而将该整面膜层的应力进行细微化，从而使其应力与相邻膜层的应力进行适配，以此提高隔离结构的可靠性。