一种王字型上电极式单刀双掷开关

摘要

本发明属于射频MEMS技术领域，具体涉及一种王字型上电极式单刀双掷开关，所述微波传输线、第一驱动电极、第二驱动电极均设置在衬底上；所述第一地线的中部设有间断口，所述第一驱动电极、第二驱动电极分别设置在第一地线的间断口处，所述开关组件设置有两个，所述输入信号线通过两个开关组件分别与第一输出信号线、第二输出信号线连接。本发明的上电极采用王字型结构，从力学方面讲，该结构可以减小上电极的弹性系数，降低上电极下拉所需的静电力，进而降低驱动电压，去除电压后，使得上电极拥有类似于弹簧的回复力，防止了上下电极之间的自吸合，下电极采用了长条形的单触点，增大了与上电极的接触面积，能够提升射频开关的耐受功率。