法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-01
公开
发明专利申请公布
机译: 当采用辅助电极采用对称馈电结构和无源方法的辅助电极来调制等离子处理腔室中晶圆边缘鞘的方法时,可驱动可控阻抗,使对称射频功率有效地输入到等离子中
机译: 射频方法,通过使用具有对称进给结构的辅助电极来调制等离子处理腔室中的晶片边缘鞘,并在无源方式中将功率控制为无功,并且将对称功率输入到有功功率中时,允许对地进行可控的阻抗
机译: 能够使用LED输出的光动力和高频辐射线输出的高频能量的便携式皮肤治疗仪