低温低丰度原子对象分配器

摘要

本发明题为“低温低丰度原子对象分配器”。本发明提供了用于分配原子对象的方法和分配器。用于分配原子对象的示例性方法包括将至少部分地涂覆有包含所述原子对象的组合物的反应部件密封在烘箱内；以及，在所述烘箱设置在压力受控室内的情况下，将所述组合物加热至原子化反应温度以引发原子化化学反应。所述反应部件包括作为所述反应的参与者的材料。所述反应的结果是沉积在所述烘箱内的沉积表面上的元素原子对象。所述原子化反应温度大于分配阈值温度。所述方法还包括允许所述烘箱冷却至所述分配阈值温度以下；以及将所述烘箱加热至分配温度以致使所述元素原子对象通过分配孔从所述烘箱分配。所述分配温度不超过所述分配阈值温度。