一种基于弹簧状敏感单元的电阻式柔性三维力传感器

摘要

本发明公开了一种基于弹簧状敏感单元的电阻式柔性三维力传感器，从下至上依次由下电极板层、敏感单元层、上电极板层以及表面凸起层构成；上电极板层包括下柔性衬底和下电极板，上电极板层包括上电极板和上柔性衬底；上电极板和下电极板均包括2×2排列的四块正方形结构，每个正方形结构均通过导线引出；敏感单元层包括2×2排列的四个敏感单元，每个敏感单元包括一个弹簧状结构和圆柱体支撑柱，可以敏感的感知微小力，具有良好的压缩和拉伸性能；表面凸起层正四棱台结构，可以放大微小力使敏感单元形变量变大。本发明的传感器采用独特的三维立体结构可以实现三维力的检测，可以应用于环境监测、机电监测、农业生产、航天军事等领域。