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公开/公告号CN114112653A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-01
原文格式PDF
申请/专利权人 胜高股份有限公司;
申请/专利号CN202110982250.X
发明设计人 藤濑淳;小野敏昭;多久岛武;
申请日2021-08-25
分类号G01N3/08(20060101);G01N3/20(20060101);H01L21/66(20060101);
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人张泽洲;张一舟
地址 日本东京都
入库时间 2023-06-19 14:20:35
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-01
公开
发明专利申请公布
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