一种基于高载流子浓度导电薄膜的气体传感架构及传感器

摘要

本发明提供了一种基于高载流子浓度导电薄膜的气体传感架构及传感器，该气体传感架构包括：第一气体吸附层、第二气体吸附层、周期微纳米金属层、支撑层和功能层；功能层为透明导电薄膜，透明导电薄膜的载流子浓度≥1×1019cm‑3；第一气体吸附层、周期微纳米金属层、支撑层和功能层依次叠加组成光学模块；光学模块用于利用外部的红外光源与探测器对目标待检测气体的浓度进行检测；其中，光学模块中的功能层用于反射红外光；第二气体吸附层和功能层组成电学模块；其中，电学模块用于根据功能层的阻值变化，利用外部的检测器对目标待检测气体的浓度进行检测。本发明提供的基于气体传感架构的传感器具有高灵敏度和大量程。