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一种双敏薄膜气体传感器的研究

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@@ 半导体气体传感器主要应用于汽车的电子化、环境污染的检测和气体分析等领域,目前人们已做了大量工作[1-5].本课题组在长期的反复实验中发现,采用Fe2O3-SnO2(掺杂Ti)双层薄膜结构的气体传感器,在相同的条件下既可以检测乙醇气体,又可以检测Noz气体.同时,不受常见的七、八种气体的干扰.

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来源
《传感技术学报》 |1996年第4期|84-87|共4页
作者
管玉国; 戴国瑞;
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作者单位

吉林大学电子工程系,长春,130023;

吉林大学电子工程系,长春,130023;

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正文语种 chi
中图分类自动化技术及设备 ;
关键词
气体传感器 ; 双敏薄膜; 实验;

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