一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台

摘要

本发明公开了一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台，包括一号安装台，所述一号安装台上设置有横向纵向调节台，所述横向纵向调节台上设置有工作台，所述工作台的后侧位置设置有后部支架，所述后部支架上设置有观察镜筒，所述一号安装台上在位于工作台的两侧位置设置有侧面下部安装管，所述侧面下部安装管内设置有内部活动杆，所述内部活动杆上端位置设置有侧面上部安装柱，所述侧面下部安装管之间设置有下部安装板。本发明所述的一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台，属于晶圆加工领域，设置的一号螺杆和二号螺杆等结构，便于将侧面安装台上下调节高度，水平调节位置，通过设置的折型托起杆等结构，能够将晶圆片托起，便于用户取出。