微电子扫描振镜、扫描成像系统、穿戴设备及激光雷达

摘要

一种微电子扫描振镜、扫描成像系统、穿戴设备及激光雷达，微电子扫描振镜包括动作系统、反射镜和驱动系统，动作系统包括框体、两沿慢轴方向的第一扭力梁和两沿快轴方向的第二扭力梁，两第一扭力梁关于快轴对称，第一扭力梁关于慢轴对称，两第二扭力梁关于慢轴对称，第二扭力梁关于快轴对称；反射镜位于两第一扭力梁间，且位于两第二扭力梁间，两第二扭力梁和反射镜连接；驱动系统驱动两第一扭力梁绕快轴扭转和两第二扭力梁绕慢轴扭转，反射镜由两第一扭力梁和两第二扭力梁驱动绕快轴或慢轴扭转。这样提升了微电子扫描振镜的长期使用可靠性，使得反射镜在满足大反射镜面、高扫描频率以及大扫描角度的同时，具有较小的封装体积和较低的机械耦合。