适用于宽角度入射的全介质消偏分光棱镜及其制备方法

摘要

本发明公开了一种适用于宽角度入射的全介质消偏分光棱镜及其制备方法，其包含两个等腰直角棱镜及胶合其中的全介质混合材料消偏分光膜。入射光在±5°范围内入射胶合后的棱镜，会被分为两束子光束出射，分别为透射光和反射光，两者光强比为50％:50％，每束出射子光束中s向与p向偏振光的光强差值在入射光光强的±3％以内。全介质混合材料消偏分光膜由具有高、中、低三种折射率的膜材按照一定顺序依次交替镀制而成，其中，中间折射率膜材可能并不存在于现有种类的膜材中。本发明通过混合共溅射方式突破材料折射率范围的限制，极大地增强了基板、入射角和工作波长以及膜层材料的可选性，使本发明所述的消偏棱镜的应用场景更加广泛。