氧化镓基日盲紫外光强度探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种氧化镓基日盲紫外光强度探测器及其制备方法，所述探测器包括金属层a，金属层a上依次设有输运层、电荷传导层和SiO2层，电荷传导层中间设有端部为插指状的凸起，该凸起穿过SiO2层中间，SiO2层顶部设有横截面为回字形的金属层b，金属层b中间填充有光生电子积累区，电荷传导层的凸起插入光生电子积累区内；本发明的探测效率和灵敏度均良好，能够准确探测日盲紫外光的强度。