一种单晶氧化镓基日盲紫外光电探测器及其制备方法与应用

摘要

本发明提供了一种单晶氧化镓基日盲紫外光电探测器及其制备方法与应用，所述制备方法包括以下步骤：(1)采用脉冲激光沉积法在衬底的表面制备单晶氧化镓薄膜，得到薄膜样品；(2)将步骤(1)所得薄膜样品进行退火处理；(3)在步骤(2)所得薄膜样品的薄膜一侧表面制备叉指电极，得到单晶氧化镓基日盲紫外光电探测器。所述光电探测器包括依次设置的衬底、单晶氧化镓薄膜和叉指电极。本发明提供的方法降低了制备难度与生产成本的同时实现了氧化镓晶相与形貌可控，提升了光电检测器的灵敏度和响应速度。