超导量子比特及其辅助器件多层膜的制备方法及产品

摘要

本发明提供了一种超导量子比特及其辅助器件多层膜的制备方法，所述制备方法可实现三维超导量子比特加工，并提供了制备方法的步骤，还提供了通过超导量子比特及其辅助器件多层膜的制备方法制备的产品。本发明的制备超导量子比特的微纳加工技术，通过激光直写、反应离子刻蚀、高电压电子束曝光等步骤可以实现简单的三维超导量子比特加工。