公开/公告号CN114086140A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-02-25
原文格式PDF
申请/专利权人 广东鼎泰高科技术股份有限公司;
申请/专利号CN202111433035.0
申请日2021-11-29
分类号C23C14/35(20060101);
代理机构11332 北京品源专利代理有限公司;
代理人吴萌
地址 523000 广东省东莞市厚街镇赤岭工业一环路12号之一2号楼102室
入库时间 2023-06-19 14:17:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-15
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/35 专利申请号:2021114330350 申请日:20211129
实质审查的生效
机译: 用于在真空镀膜设备中旋转物体的方法设备以及用于在真空镀膜设备中旋转物体的方法和设备的用途
机译: 真空镀膜设备和真空镀膜设备的处理室的分离装置
机译: 真空镀膜装置及真空镀膜方法