真空镀膜设备真空室门的保护开关装置及真空镀膜设备

摘要

本实用新型提供一种真空镀膜设备真空室门的保护开关装置及真空镀膜设备，包括：支架(2)、光电开关(4)、移动触杆(5)、定位套座(9)与复位机构；定位套座(9)固定于真空室体法兰(10)的后面，移动触杆(5)设于定位套座(9)前端伸出设于真空室体法兰(10)上的通孔(12)；移动触杆(5)后端设有触头(13)，光电开关(4)通过支架(2)固定于真空室体法兰(10)上；关上真空室门，真空室门法兰(11)推动移动触杆(5)后移，触头(13)位于光电开关(4)的光感槽(14)中；打开真空室门，移动触杆(5)通过复位机构复位。使用寿命长，安全性好、可靠性高。