一种基于对称保护型连续体束缚态的太赫兹传感器

摘要

本发明公开了一种基于对称保护型连续体束缚态的太赫兹传感器，由多个单元结构呈周期性排布构成，多个单元结构的结构相同，均包括融合石英构成的衬底，衬底上表面设置有N型掺杂硅所构成的微结构柱A和微结构柱B。本发明可以提高检测的灵敏度，同时克服金属太赫兹传感器易被氧化、高欧姆损耗、结构复杂的问题。