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一种气压环境维持结构、扫描电镜及气压环境维持方法

摘要

本申请公开了一种气压环境维持结构、扫描电镜及气压环境维持方法,应用于室内有目标气压需求的工作室,包括有:穿通件,穿过连通工作室室内空间的穿通孔,并能够在穿通孔内移动,穿通件的用于操控位移的操控端位于室外、用于承载样品的承载端位于室内;密封部件,设置在穿通件与穿通孔之间,以使工作室室内与室外密封隔离。本申请提供了的气压环境维持结构及方法,工作人员在外部操作即可移动工作室内的样品,同时保证了移动过程中特定气压环境与外界环境始终保持隔离,确保工作室内长期有效维持工作所需的特定气压环境,提高作业效率,简便作业操作。

著录项

  • 公开/公告号CN114093737A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-02-25

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 北京中科科仪股份有限公司;

    申请/专利号CN202111567071.6

  • 发明设计人 刘其武;

    申请日2021-12-20

  • 分类号H01J37/18(20060101);H01J37/28(20060101);H01J37/16(20060101);

  • 代理机构11505 北京布瑞知识产权代理有限公司;

  • 代理人孙健康

  • 地址 100089 北京市海淀区中关村北二条13号

  • 入库时间 2023-06-19 14:15:58

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-03-15

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/18 专利申请号:2021115670716 申请日:20211220

    实质审查的生效

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