等效元件、等效元件的制备方法、检测精度校验方法

摘要

本发明适用于自由曲面测量领域，公开了等效元件、等效元件的制备方法、检测精度校验方法，检测精度校验方法通过两种方法检测大口径自由曲面元件的精度，并且利用尺寸小于被检元件的等效元件代替大口径自由曲面元件进行精度检测，使得检测精度校验方法可以使用能够达到纳米检测精度但是检测口径受限的检测方法(如轮廓测量法)对尺寸规格较大的被检元件进行检测，从而使得大口径自由曲面元件检测能够得到纳米精度校验。