公开/公告号CN114076834A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-02-22
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院大连化学物理研究所;
申请/专利号CN202010822707.6
申请日2020-08-14
分类号G01Q60/30(20100101);G01N27/416(20060101);
代理机构11540 北京元周律知识产权代理有限公司;
代理人校丽丽
地址 116023 辽宁省大连市中山路457号
入库时间 2023-06-19 14:15:58
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-11
实质审查的生效 IPC(主分类):G01Q60/30 专利申请号:2020108227076 申请日:20200814
实质审查的生效
机译: 具有高时间和空间分辨率的检测系统及其检测方法,具有高时间和空间分辨率
机译: 时间和空间分辨率的einzelphotonenz u00e4hlung测量光信号的方法和装置
机译: 具有形式双折射的表面特征测量系统,具有形式双折射的特征尺寸测量方法,具有高横向分辨率的各向异性样品的临界尺寸的测量装置以及具有样品的高分辨率的临界尺寸的方法