具有10nm分辨率的M400—A型坐标测量装置

摘要

在高质量光学件生产中，为了获得高重复性和高生产速度，蔡司厂设计出一种数控抛光／检测系统，它是由一个ＣＮＣ－控制的抛光机和一个计算机控制的测量机构完成的，因为数据能在这两个机器之间进行交换，因此对待加工的光学表面只需使用一个内循环最佳程序，测量分辨率的要求是由在机器上待检测的光学件的精度来决定，这些光学件主要是在同步辐射回旋加速器中使用的反射镜，在某些情况下，规定表面倾斜误差不大于０．１角秒。这就要