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机译:通过电子束诱导的蚀刻图案化钻石,具有10nm分辨率
Univ Duisburg Essen Fac Phys D-47057 Duisburg Germany;
diamond; gas-assisted etching; patterning; nano-structuring;
机译:通过电子束诱导的蚀刻图案化钻石,具有10nm分辨率
机译:通过结合纳米压印光刻和各向异性湿法刻蚀来进行亚50纳米结构图案化,而无需考虑原始模具分辨率
机译:电子束诱导刻蚀中的动态图案形成
机译:使用光耦合掩模对金刚石薄膜进行构图和反应离子刻蚀
机译:通过电子束光刻以低于30 nm的分辨率图案化生物分子
机译:采用近零微掩膜的金刚石蚀刻超过10μm
机译:电子束诱导的3 nm半节距图案在块状Si上的沉积