一种砷化镓研磨冷却水循环使用设备及其使用方法

摘要

本发明涉及一种砷化镓研磨冷却水循环使用设备及其使用方法，属于半导体废水处理技术领域。设备包括研磨设备、竖流式沉淀池、沉淀池A、沉淀池B、平流式沉淀池和过滤器，其中，研磨设备排水口连接至竖流式沉淀池，竖流式沉淀池通过絮凝剂添加器分别连接至沉淀池A和沉淀池B，沉淀池A和沉淀池B均连接至平流式沉淀池，平流式沉淀池通过水泵连接至过滤器，过滤器连接至研磨设备进水口。本发明实现冷却水的循环使用，有效降低总用水量，降低废水总量的产生，提高冷却水净化效率，同时避免砷化镓碎屑对研磨的速率、破片率产生不良影响。