一种液体氯硅烷泄漏后的回收系统

摘要

本发明涉及多晶硅生产设备技术领域，尤其涉及一种液体氯硅烷泄漏后的回收系统，其包括:气动隔膜计量泵、收集罐、转液泵和事故罐；气动隔膜计量泵的进液口连接有输液管道一；输液管道一的入口处具有过滤网；收集罐的上部具有液体入口一；液体入口一通过输液管道二与气动隔膜计量泵的出液口连通；收集罐的上部具有液体入口二；液体入口二通过输液管道三与废气管网连通；收集罐的上部具有氮气输入口；收集罐的下部具有输出口；转液泵的进液口通过输液管道四与输出口连通；输液管道四上连接有氮气管；转液泵的出液口连接有输液管道五；事故罐通过输液管道六与输液管道五的输出端连接。采用本发明能够减少物料浪费，减少对环境的污染。