基于MIS结构的薄膜型电致发光LSPR生物传感器

摘要

本发明公开了一种基于MIS结构的薄膜型电致发光LSPR生物传感器，包括：主体组件、纳米颗粒以及PCB板；主体组件固定于PCB板上；主体组件包括：半导体层、二氧化硅层、正金属电极、负金属电极、绝缘层；二氧化硅层设置于半导体层上；二氧化硅层上刻有数个凹槽；当在凹槽中放置正金属电极时，正金属电极与半导体层之间设有绝缘层，构成MIS隧道结；当在凹槽中放置负金属电极时，负金属电极与半导体层贴合固定；纳米颗粒散落于正金属电极表面；PCB板包括底板、数个电极片；电极片设置在底板上，通过导线与正金属电极、负金属电极、外部供电电源连接。本发明采用外加直流电压的方式产生电致发光，避免了LSPR技术中外部光源的使用。