具有诊断电路的真空系统以及用于监视这种真空系统的健康的方法和计算机程序

摘要

一种真空系统，具有诊断电路以及用于监视这种真空系统的健康的方法和计算机程序，所述真空系统包括：至少一个低温泵；与低温泵相关联的传感器，每个传感器被配置成感测低温泵的操作条件；以及诊断电路，其被配置成接收从传感器采样的信号。诊断电路包括低温泵的诊断模型，诊断模型是从多个再生和服务时间时段上操作的相同类型的多个低温泵的历史数据导出的并且被配置成将来自至少一些传感器的采样信号的值与预定时间内的泵失效的概率相关。诊断电路被配置成将采样信号应用于诊断模型并从模型的输出确定预定时间内的至少一个低温泵失效的概率。